连续化真空溅镀生产线始端有 2 个过渡真空腔体,前者是低真空过渡腔体,后者是高真空过渡腔体。前者由大气压力向低真空过渡,此过程速度较快,不影响整条生产线节拍;后者由低真空向高真空过渡,此环节是整条生产线中**慢的,尤其是在多雨季节。要加快此节拍,目前通常做法有三:一是加大抽真空设备功率
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