真空溅镀是材料表面处理的重要方法之一,目前,高产能的连续化真空溅镀生产线已成为防EMI 的主导设备,其主要包括以 DIP 作主真空泵,BP+RP 作前级泵实现真空腔体的高真空 (10-3Pa量级),氩气作气源,开关电源供电,磁控阴极靶源等。这种生产线具有加工成本低、生产效率高且环保无污染等优点而得到广泛应用。
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2024-05-11
真空溅镀是材料表面处理的重要方法之一,目前,高产能的连续化真空溅镀生产线已成为防EMI 的主导设备,其主要包括以 DIP 作主真空泵,BP+RP 作前级泵实现真空腔体的高真空 (10-3Pa量级),氩气作气源,开关电源供电,磁控阴极靶源等。这种生产线具有加工成本低、生产效率高且环保无污染等优点而得到广泛应用。